FRn03P 系列微流量气体质量流量传感器是专门针对各类微流量过程控制设计的。本系列产品是利用 MEMS 热式原理制成，适用于干燥洁净气体。传感器采用表贴式安装，特别适合在狭小空间内的多传感器集成。

产品特点

1.传感器灵敏度高，具有极低始动流量

2.表贴式安装，结构紧凑，多种信号输出

3.全量程高稳定性和高重复性

产品参数